最高精度用于粗糙度和轮廓及 130 mm 测量路径
Mahr 计量的先进技术实现一步完成轮廓和粗糙度测量。MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 测量站在第一代设备经验的基础上，又经过系统化的设计。各种应用中的测量任务越来越需要同时测量轮廓和粗糙度深度。测量仪器必须有很高的测量性能才能满足这些要求。亚纳米级分辨率和残余噪声 <20 nm Rz 只是一些基本要求。
优点:
一步完成粗糙度和轮廓测量高测量和定位速度可大幅减少测量时间
创新的测头系统解决方案，快速可靠的测杆更换，磁性支架同步检测测杆
长测量长度，高达 130 mm，测量行程 13 mm（100 mm 测杆长度）或 26 mm（200 mm 测杆长度）。模块结构，方便维护
订货号 |
6720821 |
定位速度 |
0.02 - 200 mm/s (X) |
扫描长度末尾（X方向） |
130 mm |
测量速度 |
0.02 mm/s 至 10 mm/s； |
粗糙度测量 |
推荐 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s |
导块偏差 |
0.35 µm / 60 mm |
分辨率 |
0.8 nm |
测量范围 mm |
13 mm（100 mm 测杆） |
扫描长度 |
0.1 mm - 130 mm |
测量力 |
0.5 mN 至 30 mN，软件可调 |
