校准测量仪 ULM 1000 S-E

外测量的测量范围 [mm] 0 至 1025

内测量的测量范围 [mm] 0.5 至 870

优点:

通用长度测量仪器，直接测量范围覆盖整个设备长度。比较仪配备水平基床（高度同质、坚硬花岗石）

X 轴测量系统：增量式高精度 Heidenhain 长度测量系统，测量元件长 100 mm

基床中载物台左和右侧的整个基床长度上的 Heidenhain 增量入射光测量系统

Z 轴测量系统：RENISHAW 增量，精密长度测量系统，长度 80 mm